バッチ式高真空蒸着装置eiシリーズは、基板上に金属や酸化物を成膜するための装置です。 操作パネルから集中的制御で排気操作・成膜操作を自動で行うことができるため、 ...
そこで、もう一度かるく熱酸化して、その上から金属蒸着することで電気的に絶縁された構造を製作します。この方法は、single-crystal reactive etching and ...
2009/5/19 -マスク蒸着は，ステンシル・マスクという穴の開いた金属の板を通して蒸着することにより，基板上に直接，パターンを作る。MEMSの場合，一番最後の工程で ...
反応ガス（揮発性化合物）とキャリアガスの混合ガスを供給して、基板上に材料の薄層を蒸着させる。基板はリアクター内に置かれ、ガスはリアクターに供給される。ガスは基板 ...
MEMSとは？ MEMS（メムス ... MEMS加工技術を立ち上げてから20年以上の経験があり、センサMEMS・アクチュエータMEMS・パッケージMEMSの開発をしてきました。 ... 蒸着装置, ～6 ...
2023/5/15 -WAVESの【MEMs デバイス向け】薄膜材料（ターゲット・蒸着材）の技術や価格情報などをご紹介。既存材料で満足できない 少量多品種のデバイスを開発を ...
理蒸着法. 物理蒸着法 としては真空蒸着法とスパ ッタリングが知 ら. れており,主 に金属膜の成膜 に用いられることが多いです。 真空蒸着法では基板上 に成膜 したい ...
蒸着 · マルチチャンバ型スパッタリング装置MLX-3000N · 裏面・実装用スパッタリング装置 SRH シリーズ · アッシング装置 Luminous NA シリーズ · マルチチャンバ型 ...
製膜には化学気相堆積法 (Chemical Vapor Deposition, CVD) や、真空蒸着（おもに金属）、スパッタ（金属、酸化物、窒化物）などがあります。材料を形成するという広い意味 ...
I-PEX Piezo SolutionsのMEMSファウンドリは優れた単結晶圧電成膜技術とMEMS加工技術を用いて、お客様の高性能な圧電MEMSの開発をサポートいたします。