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・対応マスク:4インチおよび5インチ角、厚さ 0.09インチ・アライメント可動範囲:X軸±10mm,Y軸±5mm,θ軸±5° ・露光モード: ソフトコンタクト(ウェハの下部から真空を ...
2021/8/5 -... インチ×2.5インチ、4インチ×4インチ、5インチ×5インチ試料最大寸法:直径4インチ、厚み約3mm 観察方式:表面および裏面観察重ね合わせ精度:5μm 実用 ...
両面マスクアライナー露光装置 (Double-Sided Mask Aligner) ... 両面マスクアライナ (Double-side alignment Mask aligner) ... 4インチ, 5インチ対応マスクホルダー 最大 ...
スペック・付属品等 · マスクサイズ: 2.5インチ□,5インチ · ウエハチャック: 4インチφ · 露光光源: 高圧水銀灯(405 nmで照度15 mW/cm2 以上) ...
高性能マスクアライナー LAシリーズは、4/6/8インチ標準マスクアライナーでコンパクトな微細露光のスタンダード機です。半導体素子デバイス等フォトリソグラフィーを必要と ...
製造メーカー: (株)ユニオン光学. 型番: PEM-800. 仕様: 最小線幅2μm. 最大露光領域 4インチΦ. 使用可能マスク 2.5インチ角、3インチ角、5インチ角.
両面アライメントは、これからのIoT時代の様々なセンサー作製に必要とされていま. す。また、通常の片面マスクアライナとしても高い分解能や位置合わせも可能です。 【設備 ...
ウェハー露光装置(マスクアライナー)/ Wafer Exposure System (Mask Aligner) ... LED用全自動露光装置 Full Automatic Exposure system for LED chip. 概要: 2~4インチ ...
製品仕様 ; 最大基板厚, 2mm ; 最大マスクサイズ, 4×4インチ ; UVランプハウス, コリメータータイプ ; 照度, >8mW/c㎡(at405nm) ; 照度均一性, <±8.5%.
inch(吸引モード),4 inch(ソフトコンタクト) ・照射範囲:3×3 inch ・対応基板厚さ:4.5 mm 両面露光:可能(赤外線照明). 両面露光用 ...