2024/1/23 -Samco製 RIE-101iPH 汎用ドライエッチング装置 · 4インチ処理 · ダミーウエハへの貼り付けで異形ウエハもOK（基板He冷却） · シリコン、酸化膜、メタル、PZT ...
サムコ製 RIE-101iPH フッ素ガス仕様 2010年3月導入装置利用料金¥6000/H関連消耗品などJ15：Si系材料ドライエッチング装置除害剤※CHF3、CF4、F2ガス使用時間（分）※ ...
型番: RIE-101iPH. 仕様・特徴: 汎用反応性エッチング装置. Si、Ti等の微細エッチング可基板サイズは～4inch. CCP-RIE装置 (Capacitive Coupled Plasma reactive ion ...
1993年4月 姫路工業大学 工学部 ... 兵庫県立大学 大学院工学研究科. 教授. 前中 一介 先生 ... JSTのERATOプロジェクトで購入させて頂. いたICPドライエッチング装置RIE- ...
1993年4月 姫路工業大学 工学部. 電子工学科 助教授 ... 兵庫県立大学 大学院工学研究科. 教授. 前中 一介 先生 ... いたICPドライエッチング装置RIE-101iPHは、. 主にPZT ...
ICP-RIE装置 [RIE-101iPH] ; NIMS並木地区 MANA棟506号室 · サムコ (samco) · RIE-101iPH · RIE、誘導結合、ICP、塩素系ガス、プラズマエッチング/ Plasma etching.
兵庫県立大学大学院 工学研究科 応用化学専攻 ; ナノ材料合成等での固液の分離に便利. 太陽電池材料の薄膜作成に使用. 嫌気下での実験、太陽電池作成.
2019/5/17 -半導体エッチング装置： RIE-101iPH. 全自動多目的X線回折装置 ブルカー・エイエックエス社： D8 Advance TKT. 熱拡散率測定装置 NETZSCH 社：LFA 457 ...
ICP-RIE装置 [RIE-101iPH] ; 大学・公的機関・スタートアップ企業 3,300円/時間; 中小企業 5,500円/時間; 大企業 11,000円/時間 · 機器利用：○; 技術指導：○; 技術代行：○.
兵庫県立大学大学院理学研究科 物質科学専攻 物質構造制御学部門 理学部 物質科学科 構造物性学講座. Exploring New Frontiers of Functional Coordination Chemistry