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キヤノンさんが発表したナノインプリント量産機。少し見方を変えて、というか運用上どうなんなるんやろか、と感じた点を3つほど挙げると 1. アライメント方式 2. ウェーハ歪み補正機能 3. レジスト塗布 あたりなのですが、このうち1についてつらつらと。→
メニューを開くキヤノンさんが発表したナノインプリント量産機。少し見方を変えて、というか運用上どうなんなるんやろか、と感じた点を3つほど挙げると 1. アライメント方式 2. ウェーハ歪み補正機能 3. レジスト塗布 あたりなのですが、このうち1についてつらつらと。→
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