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位相シフトマスクは大別して3つあります。 ◽️ガラスに位相シフト膜を形成する ◽️ガラスを削って位相シフト層にする そして最も実用化したのが ◽️遮光部を全て位相シフト層にする これが「ハーフトーン」マスクです。 これらをうまくまとめたのがこのイメージ図です。一番右がハーフトーンです。→ pic.twitter.com/9RkUZeXZWs
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ハーフトーンマスクのレイアウトは極めてシンプルです。これまでのバイナリ（白黒）マスクの、黒部分をハーフトーン膜にすれば良いのです。 マスクの製造プロセスはもちろん複雑化しますが、設計・検証リソースがシンプルになることは、半導体チップ開発のコスト・LT双方において極めて重要です。→
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レチクルに位相シフタを取り付ける、全遮光部に付けるのがハーフトーンなのですね😲 一方でレジストにもTARC、BARC膜も形成するんですか？また次回辺り出てくるのかな・・・ 超微細パターン露光のこと、とても勉強になりました✨ take-semi.com/2024/02/24/ant…
