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オングストローム(10^-10 m)、昔の高校生クイズで 「これはAですが"Å"は何でしょう」という問題で初めて知って、こんな単位いつどこで使うんやと思ってた。まさか半導体産業で使うことになるとはね。
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有機化学や高分子、レジスト屋さんはÅをよく使い、デバイス屋さんや装置関係者はnmをよく使うイメージ。膜厚は、昔はÅをよく使っていたけど、最近はnm派か多いかな? Åからnmに一瞬で単位換算できないとね(10で割るだけだけど)。 そのうちデザインルールもÅになるのか、pmって言い出すのか。