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融点が180 ℃とかなのでガンの上で溶けて短絡しちゃうかもです…(僕だったら怖いのでやらないです) 真空蒸着機構を真下のポートにつけるにしても邪魔になりそうですね… K-cell(MBE)とかでLi電池材料を作っている人がいるならそれは使えるかもです(真空蒸着みたいなもんだと思うので)。
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スパッタの雰囲気(ガス圧~1 Pa)では真空蒸着はしんどいと思うので、その条件でLi供給(共スパッタとかを想定)するならLi2OとかLi2CO3をターゲットにするのはありなのかもしれません。(CO2ガスが抜けると想定) またお会いした時に結論・結果を聞かせて頂けたら嬉しいです！(私も興味があるところなので)
