ポスト
その特性を利用する形でリサイクルプロセスでは、リソ後にスクラバー(半導体工場から排出されたガスを収集・処理する装置)を用いてネオンガスを捕捉、タンクに収納。その後ネオンガスは、TEMCのガス処理プロセスにて選択的に分離および精製されてから、
メニューを開くみんなのコメント
メニューを開く
半導体製造プロセスでの再利用に向けSK hynixに供給されるという。2024年春の時点で、排出量、回収量、精製収率を掛け合わせて測定されるネオン回収率は72.7%ほどで、SK hynixではこの精製収率を継続的に向上させていき、将来的には77%まで高める計画としている。