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ASMLが 2012年10月17日に買収を発表した "ASML to acquire Cymer to accelerate development of EUV technology" asml.com/en/news/press-… Cymerによる EUV光源の論文がありました (Adv. Opt. Techn, Jun 2017, Publicly Available)、ASMLによる NXE:3400C EUV光源紹介と共に x.com/ogawa_tter/sta… pic.twitter.com/UUarDTDp78

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OGAWA, Tadashi@ogawa_tter

=> "Availability of EUVL Sources on NXE:3400C scanners and developments in power scaling beyond 500W", Source WS 2020 euvlitho.com/2020/S44.pdf ASML (Cymer), Review, Adv. Opt. Techn, Jun 2017 degruyter.com/document/doi/1… twitter.com/ogawa_tter/sta… ZEISS twitter.com/ogawa_tter/sta… High-NA EUV

OGAWA, Tadashi@ogawa_tter

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