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【EUV向け設備投資】三菱ケミ,EUV向け感光性ポリマー生産能力を増強 optronics-media.com/news/20240617/… 九州事業所・福岡地区において,「ArFフォトレジスト用リソマックス」および「EUV(極端紫外線)フォトレジスト用リソマックス」の各量産設備を新設することを決定 #設備投資 #EUV #半導体

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