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大平研(@JAIST16) #JAIST研究 6月14日(金)に開催された第21回Cat-CVD研究会で、学生の伊藤君が口頭発表を行いました。 題目:組成と膜厚を変化させた極薄窒化Si膜の電気伝導性評価 cat-cvd.jp/index_ja.html pic.twitter.com/TlinHLRwyP

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