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MEMSって微細で、しかも割れやすいシリコンでできているから壊れやすいよねってよく言われます。もちろん触ったら壊れますが、衝撃では壊れにくい。これは小さくなると長さの三乗で体積、すなわち慣性力が小さくなるから。一方、表面力では壊れやすいので、洗浄後に乾かすには超臨界乾燥を利用します。 pic.twitter.com/CPYD4rguUP

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田中 秀治 / Shuji Tanaka@mems6934

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