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【半導体製造工程】⑤ #熱処理 CZ引き上げにより、結晶内にドープされた酸化ドナーを低温熱処理することで消滅させ、抵抗を安定化させます。 熱処理としては、より高品質なウエハーに仕上げるためにアニールの他にPBSやCVDといった工程もあります。 pic.x.com/vhmavupwqb

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茂呂製作所【公式】@moroseisakusho

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