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荏原は半導体工場での省電力や省スペースのニーズに対応する製品、システムを出展。ドライ真空ポンプ「EV―X型」は、半導体製造の化学気相成長(CVD)やエッジング向けに、「長寿命化と消費電力削減の両立」(担当者)に加えて、高負荷化・複雑化に対して幅広いプロセスに対応可能なことを訴求

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いまおか@imaoka334

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また電力使用量の遠隔監視サービス「EBANET 3」も紹介。半導体工場の水や電力使用量のデータを収集、可視化することで半導体工場で高まる省エネ化を後押しする。

いまおか@imaoka334

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