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「Intel、High NA EUVを入れたってよ。」なぜNAが大きい方が良いの?NAはレンズまたはミラーの開口数NA = n sinθ。一方、周期dのグレーティングからの回折光の回折角をθとすると、sinθ = λ/d, 2λ/d, 3λ/d… これがNAより小さな回折光はレンズで集光できる。そして、回折光を集光できれば、解像できる。 pic.x.com/X7MFp26hAX

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田中 秀治 / Shuji Tanaka@mems6934

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