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i線は、ロジックプロセスだと0.25μm(250nm)くらいまでで、レガシープロセス向けみたいな印象があるかもしれないけど、パワー半導体向けに最近需要が拡大してて、現在も生産されている。Canonが世界シェアの半分くらいで、残りがVeeco、Nicon、ASMLって感じ。
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軍用のロジック半導体は、耐放射線仕様とかなので物理設計が専用で、少量かつ長期間の生産が必要なのでレガシーノードを使う場合が多いけど、安定供給という点ではいろいろと難点がある。バルクプロセスベースで生産する方式もあるが(HA5000とか)、安全保障上自国で持ちたいという要求は強いだろうな。
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