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【半導体製造工程】⑩ #薄膜形成 #成膜(#deposition) ウェーハの表面に様々な材料の薄膜をつけるプロセスです。 形成する方法には材料ガスに晒してウェーハ上に膜をつけるCVD、放電によってイオン化した材料をウェーハ表面に衝突させるスパッタリングなどがあります。→ pic.x.com/musatpxhkn
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【半導体製造工程】⑩ #薄膜形成 #成膜(#deposition) ウェーハの表面に様々な材料の薄膜をつけるプロセスです。 形成する方法には材料ガスに晒してウェーハ上に膜をつけるCVD、放電によってイオン化した材料をウェーハ表面に衝突させるスパッタリングなどがあります。→ pic.x.com/musatpxhkn