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走査型電子顕微鏡
走査型電子顕微鏡(そうさがたでんしけんびきょう、scanning electron microscope、SEM)は電子顕微鏡の一種である。電子線を絞って電子ビームとして対象に照射し、対象物から放出される二次電子、反射電子(後方散乱電子、BSE)、透過電子、X線、カソードルミネッ…-Wikipedia
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