第6回 微細加工プロセス技術セミナー（2021年 2月17日） 【プラットフォーム技術紹介】 講師：物質・材料研究機構 渡辺英一郎物質・材料研究機構は、 ...

YouTube-微細加工ナノプラットフォーム

ラジオ感のある動画にして見ました。 手抜きじゃないですよ？ 参考文献： 野尻一男『改訂版 はじめての半導体ドライエッチング技術 (現場の即戦力)』 ...

YouTube-Semicon Academy 半導体解説

第8回 微細加工プロセス技術セミナー（2021年8月25日） 【チュートリアル】 講師：東北大学 森山雅昭Siの深掘りドライエッチング(Deep-RIE)に用いられ ...

YouTube-微細加工ナノプラットフォーム

反応させるガスを用いてプラズマを発生させ、その装置内の電圧勾配を利用して材料をエッチングする技術です。この装置はヘリカルアンテナを用いること ...

YouTube-電気通信大学産学官連携センター