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真空環境下でウェハを高精度、低振動で搬送可能なシングルアームロボット。ダイレクトドライブモータ搭載により、アーム動作時の振動を大幅に低減。

YouTube-株式会社ダイヘン DAIHEN Corporation

2022/08/30

半導体ウェーハ搬送用ロボット・液晶ガラス基板搬送用ロボットのメーカー、ジェーイーエルの主要製品を掲載しています。 Products lineup of JEL, ...

YouTube-株式会社ジェーイーエル本社

2018/01/11

Comments · 【後工程編】工場見学:半導体ができるまで|実際の製造工程を見ながらわかりやすく解説!! · DCモーターの組立工場を全部お見せします! · 【 ...

YouTube-KSSofficial

2020/07/28

真空環境でウエハを搬送するロボット。ダイレクトドライブモーターにより振動を大幅に削減します。 SEMICON JAPAN出展(2016年12月14 ...

YouTube-株式会社ダイヘン DAIHEN Corporation

2017/02/20

φ300 mm対応 GTFR EFEMのウェーハ搬送に適しています。 弊社従来製品のGTCRと比べて動作禁止エリア、速度制限の影響を減らしサイクルタイム向上。

YouTube-株式会社ジェーイーエル本社

2021/12/14

φ300 mm対応 TAIKO™ ウェーハ搬送MTCR ・EFEMや半導体製造装置内、検査装置等のウェーハを高速に搬送することができます。 ・TAIKOウェーハの搬送は ...

YouTube-株式会社ジェーイーエル本社

2024/03/05

φ150、200 mm 化合物対応STCR EFEMや半導体製造装置内、検査装置等のウェーハを高速に搬送することができます。 STCR for 150 or 200 mm chemical ...

YouTube-株式会社ジェーイーエル本社

2021/12/14
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