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これ(左)がこう(右)なる。本当か? 今まで自作スパッタリング装置のAC電源は家庭用AC100Vから左のスライダックで40Vに降圧して使っていた。 それをマグネトロン制御用CNCからGコードで自動制御する事を目指し、右のトライアック制御への転換を試みている。 #これは写真機材である pic.twitter.com/TaQD2bZ3H1

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みんなのコメント

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あ、自作配線がえらく細く見えるけど、これはロボット用の極薄PTFE被覆の超高級リード線で芯線はかなり太いです(AWG失念)。

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何故自動制御かと言うと、ステンレス鏡へのスパッタリングで銀被膜の剥離が頻発した結果、プロセス中に20V⇨30V⇨40Vと段階的に制御する必要が生じたのだ。 可変抵抗器によるアナログ制御で正常なプラズマが灯るのは確認できた。 次はトグルスイッチでデジタル制御と切り替えられるようにしたい。

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