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【注目プレスリリース】新規窒化物強誘電体薄膜について、 水素含有ガス中の熱処理に対する高い耐久性を発見 -低コスト化による次世代強誘電体メモリの実用化を加速- / 東京工業大学,高輝度光科学研究センター research-er.jp/articles/view/…

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