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極端紫外 [Extreme ultraviolet (EUV)] 光源を高効率化するためのマルチレーザービーム照射法を提案し、EUV光源を高効率化できることを実験的に実証しました。 論文 doi.org/10.1063/5.0214… #九州大学 #九大研究成果 #九大 #KyushuU kyushu-u.ac.jp/ja/researches/…

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