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日本酸素(大陽日酸)が大陽日酸技報を公表していますね。その中の記載で、近年の半導体工場向け製品仕様としてppbレベルでのスペックが求められると書かれています。これはおそらく北海道の某社を指しているのでは?と思います。 tn-sanso.co.jp/jp/rd/giho/sum… #日本酸素 #高圧ガス
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日本酸素(大陽日酸)が大陽日酸技報を公表していますね。その中の記載で、近年の半導体工場向け製品仕様としてppbレベルでのスペックが求められると書かれています。これはおそらく北海道の某社を指しているのでは?と思います。 tn-sanso.co.jp/jp/rd/giho/sum… #日本酸素 #高圧ガス