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メニューを開く![](https://rts-pctr.c.yimg.jp/BgIFgYJGVIVv8u0nVJvw8B2FauAYMF4jOP5zFJAV4i5e72TLbER0xQeK1l8ZZ0OLMzwIPC8VNgAQ3aVhn1r9oUgIRtaRgE4mDnCo8TYkSJbfiLZ0g_qAFQePZWhJXmLzLdGtuIWZyxQywxE8fSuBFCl_AeKbaPndSyyFLqIbkCnZPtFa0hpbjpqX49xtcRU0MugJnIKEIJeC2QRzq8oZnzSwRP-erSpL_K64vYWzNp8=)
もともと #ALD で #TFT 作って評価するって言う2本柱の学生時代だったので、ALDの話楽しくなっちゃいますねー 日本語で言うと #原子層堆積法 難しそうななまえー楽しくなっちゃう😆 田中先生もおっしゃる材料とかの違いによる「付き難さ」を逆に利用して #ASD とか(文字数 #半導体製造装置 x.com/mems6934/statu…
私も講義ではALDを1サイクルで1層の「ABシーケンス」で教えている。アルミナの上にアルミナが成膜する際にはその通りだが、特に成膜初期はそうならないことも多い。材料によって表面の「濡れ」みたいなものが違って、成膜しなかったり、中途半端に成膜したりする時期をインキュベーションなどと呼ぶ。 pic.x.com/wn0q2xmskp x.com/impiegato53/st…