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🟦【論文誌】🟦 和文誌C 2024年9月号🍀🍀 「水蒸気を用いたALD-Al2O3の欠陥低減と絶縁ゲート構造への応用」 尾崎史朗,熊崎祐介,岡本直哉,中舍安宏,多木俊裕,原直紀 search.ieice.org/bin/summary.ph… ぜひ御一読下さい。👏 #論文紹介 #ALD-Al2O3 #炭素系 #不純物 #蒸気 #水蒸気 pic.x.com/bnwgkniwbp
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🟦【論文誌】🟦 和文誌C 2024年9月号🍀🍀 「水蒸気を用いたALD-Al2O3の欠陥低減と絶縁ゲート構造への応用」 尾崎史朗,熊崎祐介,岡本直哉,中舍安宏,多木俊裕,原直紀 search.ieice.org/bin/summary.ph… ぜひ御一読下さい。👏 #論文紹介 #ALD-Al2O3 #炭素系 #不純物 #蒸気 #水蒸気 pic.x.com/bnwgkniwbp